酸性清槽劑
一,、產(chǎn)品特性
目前,、碳酸鉀廣泛使用于干膜制程,由于槽液含有大量碳酸根,,當其結合水中鈣,、鎂離子,,產(chǎn)生固體沉淀,此白色沉淀不僅附著在槽壁,,同時亦阻塞管路與噴嘴,,容易造成顯影不良等后遺癥,重者將破壞設備降低設備壽命,。
酸性清槽劑為單液型,,針對上述制程困擾研發(fā),能有效清除干膜槽沉淀固體,,并可溶解干膜槽中的油性物質,,定期清槽可有效確保生產(chǎn)質量延長設備壽命。
二,、 配槽方法
酸性清槽劑 30%-70%
水 70%-30%
清槽步驟:
1,、先排放掉舊顯影液,再用清水清洗10分鐘,。
2,、加酸性清槽劑(40%),并以清水加至標準液位,。
3,、升溫至40℃,噴洗1-3小時后排放此液,。
4,、注入清水噴洗10分鐘后排放,再用高壓水沖洗,。
5,、注入清水噴洗15分鐘后排放,即可完成清槽程序,。
三、操作條件
1,、溫度:30~40℃
2,、濃度:40%
3、時間:1-3小時(視沉淀物多少而定)